Logo GenDocs.ru

Поиск по сайту:  

Загрузка...

Во многих случаях тонкие пленки, получаемые с помощью мрс, обеспечивают выполнение тех же функций, что и более толстые слои, наносимые другими методами - файл


скачать (121.7 kb.)


Введение.

Технология получения высококачественных и воспроизводимых по параметрам тонкопленочных покрытий является одной из актуальных задач микроэлектроники, оптики, машиностроения и других отраслей промышленности, включая автомобилестроение и строительство зданий. Современные тенденции в выборе получения тонких пленок с заданными свойствами основываются в первую очередь на показателях экономической эффективности и производительности, а также на возможности простого управления процессом и его автоматизации в производственных условиях. В соответствии с этим наиболее перспективным методом считается осаждение пленок, стимулируемое плазмой, или так называемое ионно-плазменное распыление. Среди широкого класса устройств для генерации потока осаждаемых частиц на основе эрозии электродов в вакуумном разряде особое место занимают магнетронные распылительные системы (МРС). В настоящее время они становятся основным технологическим инструментом для получения тонкопленочных покрытий методом распыления материалов ионной бомбардировкой. Благодаря использованию в этих системах скрещенных электрического и магнитного полей повысилась эффективность ионизации газа, а плотность плазмы стала в десятки раз больше, чем в безмагнитных устройствах катодного (диодного) распыления. В результате значительно возросли плотность ионного тока на катод и скорость ионного распыления, удалось снизить давление рабочего газа и улучшить многие характеристики наносимых слоев. МРС заняли лидирующее положение в технологии тонкослойных покрытий из различных материалов для микроэлектроники, устройств записи информации и дисплеев.



Во многих случаях тонкие пленки, получаемые с помощью МРС, обеспечивают выполнение тех же функций, что и более толстые слои, наносимые другими методами. Поэтому магнетронное распыление все чаще используется для нанесения упрочняющих, износоустойчивых, защитных, декоративных и других видов покрытий. Размер изделий может составлять от долей миллиметров до нескольких метров, а по форме это могут быть пластины, трубки, гибкие полимерные пленки, полотна из бумаги , ткани и других материалов. В последнее время МРС стали использовать для получения однослойных и многослойных покрытий на элементах оптической и квантово-оптической техники, а также в интегральной оптике. Интенсивно развивается магнетронная технология нанесения оптических покрытий на архитектурные и автомобильные стекла, а также рулонные материалы большой ширины. МРС позволяют распылять практически все виды материалов, включая металлы и сплавы, простые и сложные диэлектрики, полупроводники и керамику. Осаждаемые материалы могут сочетаться в различных комбинациях и в виде многослойных покрытий, толщина которых может составлять от десятков нанометров до десятков микрометров. Весьма перспективной областью применения МРС является нанотехнология, в частности технология получения нанокомпозитных и наноструктурированных объемных и тонкопленочных материалов. Кроме того, такие устройства, обеспечивающие длительный ресурс работы, позволяют создавать установки полунепрерывного и непрерывного действия, удобные для эксплуатации в промышленных условиях. Многие ведущие зарубежные фирмы создали и выпускают в настоящее время широкую гамму оборудования на основе магнетронных распылительных систем. Все это делает актуальным вопрос о внедрении и дальнейшем развитии техники и технологии нанесения тонкопленочных покрытий с заданными свойствами в различных отраслях промышленности с использованием магнетронных распылительных устройств.




Скачать файл (121.7 kb.)

Поиск по сайту:  

© gendocs.ru
При копировании укажите ссылку.
обратиться к администрации